用途特點(diǎn)：

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體特殊工藝加工，實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品驗(yàn)證等。該烘箱采用加熱循環(huán)方式，進(jìn)行精確的溫度控制。

技術(shù)特點(diǎn)： 

多用途的腔體結(jié)構(gòu)，有效的工作溫度范圍 至+500°C；

腔體與外箱之間不僅有高效的陶瓷纖維棉，而且還增加了反光鋁箔和鋁制空氣夾層，以減少內(nèi)室的熱傳導(dǎo)。

過(guò)程控制：

多段式程序控制，完全滿足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求；

與配套AUTORECIPE軟件，實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控軟件，可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等，提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設(shè)備特點(diǎn)：

可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔體設(shè)計(jì)，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；

溫度均勻度依照GBT30435-2013；

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)

提供高性價(jià)比的烤箱性能，溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件；

滿足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口，工廠軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控；

提供相應(yīng)的烘箱噪音檢測(cè)、表面SGS檢測(cè)；

配套完成的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明。

基本功能配置：

漏電保護(hù)器；

電磁門(mén)鎖；

加熱保險(xiǎn)絲；

電源缺相保護(hù)；

超溫保護(hù)器；

低溫保護(hù)器；

加熱器防干燒保護(hù)；

馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測(cè)保護(hù)；

N2壓力檢測(cè)；

功能選配：

N2流量檢測(cè)；

高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè)；

自動(dòng)排風(fēng)閥；

廢氣沉淀回收裝置；