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    MF-OV系列無氧烘箱(水平送風)
        發(fā)布時間: 2023-06-28 09:55    

    MF-OV系列無氧烘箱設備是專門設計用來滿足半導體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進的設計理念與工藝技術,可滿足不同產(chǎn)品的品質要求。


    MF-OV系列無氧烘箱(水平送風)

    用途特點:

    本產(chǎn)品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝;該設備采用加熱循環(huán)方式,進行精確的溫度控制。

    技術特點: 

    采用水平送風系統(tǒng)的高性能腔體;

    烘箱采用雙體式腔設計,內(nèi)腔采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了設備在運行時的腔體內(nèi)清潔和預防了產(chǎn)品表面沾污

    整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實現(xiàn)微調;

    優(yōu)異的熱工性能,使加熱性能大大提高

    雙層密封設計,保證更低的能耗,滿足清潔生產(chǎn)的需求。

    過程控制:

    多段式程序控制,完全滿足現(xiàn)場各種工藝需求;

    與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度監(jiān)控軟件,可實現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質。

    設備特點:

    堅持工藝優(yōu)先的設計原則即先制定最為優(yōu)化的工藝配置,再確定設備結構和布局,以確保工藝最穩(wěn)定,材料利用最合理,力求提升設備穩(wěn)定性和降低運行成本;

    本著人性化的設計理念即在細節(jié)上充分考慮現(xiàn)場情況,并不斷完善設計,使現(xiàn)場使用者更加方便地使用,維護本烘箱;

    可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

    溫度均勻度依照GBT30435-2013

    設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

    提供高性價比的烤箱性能溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件;

    滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控;

    提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

    配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說明

       

    型號

    MF-OV****

    1800

    2640

    2700

    4500

    循環(huán)系統(tǒng)

    熱風循環(huán)系統(tǒng)

    性能參數(shù)

    溫度范圍

    RT. + 25°C ~250°C

    溫度波動范圍

    0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

    溫度均勻性

    0-100℃<1℃100-200℃<2℃

    升溫時間

    < 30Min175℃&  < 40Min200℃

    烘箱結構

    烘箱外腔體選材

    烤漆板、樹脂類板、不銹鋼

    烘箱內(nèi)腔體選材

    SUS304鏡面不銹鋼

    保溫材料

    高密度陶瓷纖維棉

    加熱

    無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

    冷卻方式

    水冷卻、風冷卻、多段式冷卻

    內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

    800 *640* 960

    640 *640 * 550

    700 *640 * 560

    500 *640* 500

    外形尺寸W * H *D mm

    1500 * 900 * 1830

    1400* 1050 * 1900

    1460 * 1050 * 1900

    2340 * 1050 * 1900

    容積 (L)

    490

    450

    490

    640

    使用環(huán)境

    溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

    動力配置

    電源配置

    AC380V 3PH

    AC380V 3PH

    AC380V 3PH

    AC380V 3PH

    烘箱功率

    13KVA

    20KVA

    20KVA

    40KVA


    基本功能配置:

    漏電保護器;

    電磁門鎖;

    加熱保險絲;

    電源缺相保護;

    超溫保護器;

    低溫保護器;

    加熱器防干燒保護;

    馬達轉速檢測保護;

    UPS

    N2壓力檢測;

    N2流量檢測;

    水流量檢測;

    功能選配:

    腔體氧含量在線檢測;

    高低溫聯(lián)動檢測;

    腔體壓力檢測;

    自動排風閥;

    廢氣沉淀回收裝置;

    腔體空燒排污;

    腔體內(nèi)除塵過濾網(wǎng)裝置;










    服務熱線:021-64307580

    傳真:021-64306520
    郵箱:shanghai@mfinetech.com
    地址:上海市金山區(qū)春麗路1239號國際中小企業(yè)產(chǎn)業(yè)園   (二期) 3號樓
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